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防靜電自潤滑涂層在半導體液晶制作行業(yè)應用時,主要有如下優(yōu)點:
(1)涂層電阻率控制在1*106-1*109歐姆;
(2)摩擦系數(shù)低,保護對磨件無劃傷等不良現(xiàn)象;
(3)延長基板使用壽命。